PMQT4 kwalificatietool.
Om te bewijzen dat haar lithografiemachines in de chipfabricage met de hoogste nauwkeurigheid en snelheid werken, gebruikt ASML kwalificatietools. Wij bouwen en onderhouden wij al meer dan twintig jaar deze uiterst complexe systemen. Daarmee ondersteunen we zowel ontwikkeling als productie bij onze opdrachtgever.
De PMQT4 is de vierde-generatie Position Module Qualification Tool voor een waferpositioneringsmodule in ASML’s NXT-platform. Ons kwalificatiesysteem heeft dezelfde mechanische interface als de ASML-machine. Ook is het voorzien van complexe besturingssoftware voor real-time regelingen in meerdere vrijheidsgraden. De tool test en kwalificeert een groot aantal eigenschappen in uiteenlopende domeinen, van connectivity (elektrisch, pneumatisch en water) tot positioneringsnauwkeurigheid en dynamisch gedrag.
Vanuit onze mechatronische expertise hebben we een compleet herontwerp gemaakt, ter verbetering van de betrouwbaarheid en versnelling van ASML’s ontwikkelproces. Voor nauwkeurige positionering over een groot bereik bevat de module afzonderlijke tafels voor een lange- en een korte-slagbeweging. We hebben de PMQT4 zo ingericht dat deze long- en short-stroke stages afzonderlijk zijn te testen. Dit verkort het ontwikkelproces. Immers, ontwerpers van de ene stage hoeven niet meer te wachten totdat een prototype van de andere beschikbaar is, maar kunnen alvast gaan testen.
“wij hebben een echte klik met ASML.”
Al meer dan twintig jaar leveren wij op turnkey-basis kwalificatietools aan ASML. We spreken dezelfde taal en zijn vertrouwd met hun ‘way of working’. Onze competenties sluiten precies aan bij wat zij vragen, we snappen hoe hun machines werken en kennen de hardware en de besturing. Zo weten we welke interfaces nodig zijn voor een optimale klik tussen onze tool en hun module.